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LUS2330 PVD去除机

产品先容

采用自主研发皮秒紫外激光器,光束质量好,功率稳定性高。


设备搭载双头四工位,DD马达旋转加工,节省上下料时间,实现无间断加工,有效提高加工效率,加工精度高,热影响小;

设备配置全自动上下料,可实现全自动加工;

设备机台均采用大理石石材,平面度好、不易变形、长期稳定性极佳;

设备装配CCD视觉定位,加工精度高;

技术参数

  产品型号 LUS2330
激光器参数 平均输出功率 ≥5W
脉冲宽度 <10ps
单脉冲能量 >25uj
激光波长 355nm
DD马达 四工位系统
CCD系统 像素 1100万像素,定位精度3um
  定位精度 ±4um
工艺指标 透过率 >85%(sappire)
电阻 >11GΩ
粗糙度 <10nm
加工头 调节方式 电动调焦
料篮 装料数量 1个料盘72片产品
通用指标 设备尺寸 1580mmX1700mmX1750mm
备注:本企业保留对上述参数更改的权利。若您对机器有特殊要求,大家可专门定制,欢迎来电400-888-8866洽谈。

应用领域

蓝宝石基底PVD去除
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